mems红外传感器工艺流程—探究MEMS红外传感器的应用与技术进展

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MEMS（微电子机械系统）技术是一种集成了微机电技术、半导体技术、微纳米加工技术和材料科学技术的新兴技术。MEMS红外传感器是MEMS技术在红外传感领域的应用，具有灵敏度高、响应速度快、体积小等优点，因此在军事、安防、医疗等领域得到了广泛应用。本文将从MEMS红外传感器的工艺流程、应用领域和技术进展三个方面进行探究。 MEMS红外传感器的工艺流程 MEMS红外传感器的制造过程主要包括晶圆制备、光刻、腐蚀、沉积、刻蚀、封装等步骤。晶圆制备是制造MEMS器件的基础，需要通过化学气相沉积或物理气相沉

触位传感器【触位传感器：精准掌握物体接触状态】

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以触位传感器为主题的文章 什么是触位传感器？ 触位传感器是一种用于探测物体接触状态的传感器。它通过感应物体的接触或分离，来输出相应的信号。触位传感器主要应用于自动化生产线、机器人、安防等领域，用于检测物体的存在、位置、方向等信息。 触位传感器的工作原理 触位传感器的工作原理主要是通过机械接触的方式来感应物体的状态。当物体与传感器接触时，传感器内部的开关会被触发，输出相应的信号。触位传感器的灵敏度可以通过调整机械结构来实现。 触位传感器的分类 触位传感器可以根据不同的工作原理进行分类。目前市场上

涡流传感器工作原理、涡流传感器：探索无穷可能

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涡流传感器工作原理 涡流传感器是一种常用的非接触式传感器，利用涡流效应来测量物体的位置、速度、压力等参数。其工作原理基于法拉第电磁感应定律，当导体在磁场中运动时，会产生涡流。涡流传感器通过测量涡流的强度和频率来获得被测量物体的相关信息。 涡流传感器由两个主要部分组成：感应线圈和金属盘。感应线圈是一个绕制在磁芯上的线圈，用于产生磁场。金属盘是被测量物体，通常由导电材料制成。当金属盘靠近感应线圈时，磁场会穿过金属盘，产生涡流效应。 涡流传感器的工作原理是基于涡流的阻尼效应。当金属盘靠近感应线圈时，